合议组成员:
    组长:      主审员:
请求人委托:
    代理机构:      代理师:

通过酸性溶液进行的硅电极组件表面去污

决定号: 46735

决定日: 2012年11月05日

申请号: 200580046171.7     展开

请求人: 兰姆研究公司

决定结论: 维持原决定

法律依据: 专利法第22条第3款

请求人委托代理机构: 上海胜康律师事务所

请求人委托代理师: 周文强

专利权人委托代理机构:

专利权人委托代理师:


具有减小的线条边缘粗糙度的蚀刻特征

决定号: 46320

决定日: 2012年10月23日

申请号: 200680038623.1     展开

请求人: 朗姆研究公司

决定结论: 维持原决定

法律依据: 专利法第22条第3款

请求人委托代理机构: 上海胜康律师事务所

请求人委托代理师: 周文强

专利权人委托代理机构:

专利权人委托代理师:


具有改进的微粒性能的主动加热铝挡板部件及其应用和制造方法

决定号: 45702

决定日: 2012年09月21日

申请号: 200680034900.1     展开

请求人: 朗姆研究公司

决定结论: 撤销原决定

法律依据: 专利法第22条第3款

请求人委托代理机构: 上海胜康律师事务所

请求人委托代理师: 周文强

专利权人委托代理机构:

专利权人委托代理师:


用于临界尺寸缩减和节距缩减的系统及方法

决定号: 42603

决定日: 2012年05月24日

申请号: 200680024154.8     展开

请求人: 朗姆研究公司

决定结论: 撤销原决定

法律依据: 专利法第22条第2款;专利法第22条第3款

请求人委托代理机构: 上海胜康律师事务所

请求人委托代理师: 周文强

专利权人委托代理机构:

专利权人委托代理师: