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决定日
申请日
通过酸性溶液进行的硅电极组件表面去污
决定号: 46735
决定日: 2012年11月05日
申请号: 200580046171.7 展开
请求人: 兰姆研究公司
决定结论: 维持原决定
法律依据: 专利法第22条第3款
请求人委托代理机构: 上海胜康律师事务所
请求人委托代理师: 周文强
专利权人委托代理机构:
专利权人委托代理师:
具有减小的线条边缘粗糙度的蚀刻特征
决定号: 46320
决定日: 2012年10月23日
申请号: 200680038623.1 展开
请求人: 朗姆研究公司
具有改进的微粒性能的主动加热铝挡板部件及其应用和制造方法
决定号: 45702
决定日: 2012年09月21日
申请号: 200680034900.1 展开
决定结论: 撤销原决定
用于临界尺寸缩减和节距缩减的系统及方法
决定号: 42603
决定日: 2012年05月24日
申请号: 200680024154.8 展开
法律依据: 专利法第22条第2款;专利法第22条第3款
主办单位:中华全国专利代理师协会 | 技术支持:中国专利信息中心
ICP备案编号:京ICP备12047258号-7 | 京公网安备:11010802036321