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用于铜和相关材料的改进的化学机械抛光组合物及其使用方法
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决定号:
58319
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决定日:
2013年10月14日
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申请号:
200480012930.3
展开
申请日: 2004年05月10日
申请人:高级技术材料公司
国际分类号:B24D3/02(2006.01);B24B1/00(2006.01);C09C1/68(2006.01);C09K3/14(2006.01);H01L21/302(2006.01);H01L21/461(2006.01)
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请求人:
高级技术材料公司
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决定结论:
维持原决定
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法律依据:
专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
中原信达知识产权代理有限责任公司
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请求人委托代理师:
樊卫民
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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