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研磨垫及研磨方法
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决定号:
82923
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决定日:
2015年01月27日
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申请号:
200710185026.8
展开
申请日: 2007年10月31日
申请人:智胜科技股份有限公司
国际分类号:B24D17/00(2006.01);B24B37/04(2006.01);H01L21/304(2006.01)
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请求人:
智胜科技股份有限公司
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决定结论:
撤销原决定
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法律依据:
中国专利法第22条第2款;中国专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
上海专利商标事务所有限公司
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请求人委托代理师:
施浩
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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