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聚合物组合物、包含该聚合物组合物的光致抗蚀剂以及包含该光致抗蚀剂的涂覆制品
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决定号:
125993
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决定日:
2017年07月03日
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申请号:
201310264410.2
展开
申请日: 2013年06月27日
申请人:罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司
国际分类号:C08F234/02;C08F220/24;C08F220/28;C08F216/14;C08F216/18;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/00
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请求人:
罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司
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决定结论:
撤销原决定
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法律依据:
专利法第33条;专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
上海专利商标事务所有限公司
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请求人委托代理师:
项丹
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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