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投影光学系统、曝光装置及曝光方法
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决定号：
26658
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决定日：
2015年07月15日
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申请号：
200480012069.0
展开
申请日： 2004年05月06日
申请人：株式会社尼康
国际分类号：G02B17/08；H01L21/027
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请求人：
卡尔蔡司SMT股份公司
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决定结论：
部分无效
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法律依据：
专利法第33条；专利法实施细则第20条第1款；专利法第26条第4款；专利法第21条第2款；专利法第22条第2款；专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构：
上海市方达律师事务所
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请求人委托代理师：
宋鹤
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专利权人委托代理机构：
北京金杜律师事务所
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专利权人委托代理师：
秦玉公；薛仑
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