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在基体、涂层基体和包含涂层基体的半成品上产生结构化涂层的方法
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决定号：
103579
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决定日：
2015年12月21日
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申请号：
201080033380.9
展开
申请日： 2010年07月22日
申请人：MSG里松格莱斯股份公司
国际分类号：C23C14/08；C23C14/10；H01L21/316；H01L21/768；H01L23/29
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请求人：
MSG里松格莱斯股份公司
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决定结论：
维持原决定
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法律依据：
专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司
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请求人委托代理师：
郭国清
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专利权人委托代理机构：
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专利权人委托代理师：
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