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基板的处理系统、传输系统和传输方法以及横向移动室
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决定号:
79996
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决定日:
2014年12月22日
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申请号:
200910150907.5
展开
申请日: 2009年06月25日
申请人:英属开曼群岛商精曜有限公司
国际分类号:B65G49/00(2006.01);B65G49/05(2006.01);B65G49/06(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/677(2006.01);H01L31/18(2006.01)
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请求人:
英属开曼群岛商精曜有限公司
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决定结论:
撤销原决定
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法律依据:
专利法第33条;专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
中科专利商标代理有限责任公司
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请求人委托代理师:
汤保平
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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