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分离、至少部分干燥以及检验电子元件的设备和方法
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决定号:
143452
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决定日:
2018年04月17日
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申请号:
201380034390.8
展开
申请日: 2013年07月03日
申请人:贝斯荷兰有限公司
国际分类号:H01L21/677;H01L21/67;H01L21/268;H01L21/84;H01L29/786;H01L21/02
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请求人:
贝斯荷兰有限公司
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决定结论:
维持原决定
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法律依据:
专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
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请求人委托代理师:
尹振启
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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