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一种外延反应器
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决定号：
31193
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决定日：
2017年01月13日
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申请号：
95191347.6
展开
申请日： 1995年09月14日
申请人：LPE公司
国际分类号：C23C16/54；C23C16/46
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请求人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
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决定结论：
全部有效
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法律依据：
专利法第22条第3款；专利法第26条第4款；专利法第33条款；专利法实施细则第20条第1款；专利法实施细则第21条第2款
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请求人委托代理机构：
北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙）
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请求人委托代理师：
马佑平
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专利权人委托代理机构：
上海衡方知识产权代理有限公司
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专利权人委托代理师：
周世亮
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