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叠层虚拟掩模版的装置及集成硅光子集成芯片的方法
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决定号:
32195
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决定日:
2017年05月08日
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申请号:
201210355291.7
展开
申请日: 2012年09月21日
申请人:苏州海光芯创光电科技有限公司
国际分类号:G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027
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请求人:
罗强
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决定结论:
全部无效
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法律依据:
专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
北京市领专知识产权代理有限公司
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请求人委托代理师:
林辉轮
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专利权人委托代理机构:
苏州工业园区苏科知识产权保护中心有限公司
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专利权人委托代理师:
蒋慧妮
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