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对晶圆背面进行清洗的方法及清洗液
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决定号:
78357
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决定日:
2014年12月04日
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申请号:
200910054835.4
展开
申请日: 2009年07月15日
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
国际分类号:C11D7/18;B08B3/00;H01L21/02;C11D7/08
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请求人:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
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决定结论:
维持原决定
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法律依据:
专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
北京德琦知识产权代理有限公司
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请求人委托代理师:
谢安昆
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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