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集成电路中的虚拟金属及该集成电路板的制造方法
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决定号:
103220
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决定日:
2015年12月15日
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申请号:
201010568256.4
展开
申请日: 2010年12月01日
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
国际分类号:H01L23/528;H01L21/768
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请求人:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
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决定结论:
维持原决定
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法律依据:
专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
北京德琦知识产权代理有限公司
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请求人委托代理师:
牛峥
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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