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曝光对位系统
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决定号:
98597
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决定日:
2015年09月22日
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申请号:
201210261842.3
展开
申请日: 2012年07月26日
申请人:四川聚能核技术工程有限公司
国际分类号:G03F7/20;G03F9/00;H05K3/06
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请求人:
四川聚能核技术工程有限公司
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决定结论:
撤销原决定
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法律依据:
专利法实施细则第61条第1款;专利法第33条;专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构:
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
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请求人委托代理师:
吴开磊
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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