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抛光设备
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决定号:
53106
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决定日:
2013年03月24日
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申请号:
200810092011.1
展开
申请日: 2008年01月30日
申请人:株式会社荏原制作所
国际分类号:B24B29/00(2006.01);H01L21/304(2006.01);B24B49/04(2006.01);B24B53/12(2006.01)
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请求人:
株式会社荏原制作所
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决定结论:
撤销原决定
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法律依据:
专利法第63条第2款;专利法实施细则第51条第3款
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请求人委托代理机构:
永新专利商标代理有限公司
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请求人委托代理师:
刘佳斐
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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