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抛光设备
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决定号：
53106
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决定日：
2013年03月24日
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申请号：
200810092011.1
展开
申请日： 2008年01月30日
申请人：株式会社荏原制作所
国际分类号：B24B29/00(2006.01)；H01L21/304(2006.01)；B24B49/04(2006.01)；B24B53/12(2006.01)
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请求人：
株式会社荏原制作所
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决定结论：
撤销原决定
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法律依据：
专利法第63条第2款；专利法实施细则第51条第3款
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请求人委托代理机构：
永新专利商标代理有限公司
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请求人委托代理师：
刘佳斐
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专利权人委托代理机构：
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专利权人委托代理师：
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