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一种高深宽比硅通孔铜互连线及其制备方法
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决定号:
54880
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决定日:
2013年06月19日
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申请号:
200910041532.9
展开
申请日: 2009年07月30日
申请人:广州市香港科大霍英东研究院
国际分类号:H01L23/528;H01L21/768;C23C14/34;C23C14/16;C25D7/06;C25D5/18;C23F1/12;C23C28/02
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请求人:
广州市香港科大霍英东研究院
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决定结论:
撤销原决定
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法律依据:
专利法第26条第4款
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请求人委托代理机构:
广州知友专利商标代理有限公司
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请求人委托代理师:
周克佑
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专利权人委托代理机构:
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专利权人委托代理师:
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