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利用相容化学品的基板刷子擦洗和接近清洗干燥程序、接近基板制备程序和实施前述程序的方法、设备和系统
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决定号：
75273
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决定日：
2014年10月27日
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申请号：
201010166996.5
展开
申请日： 2005年03月25日
申请人：兰姆研究有限公司
国际分类号：H01L21/00；B08B3/08
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请求人：
兰姆研究有限公司
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决定结论：
撤销原决定
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法律依据：
专利法第33条；专利法第26条第3款；专利法第22条第2款；专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构：
中国专利代理（香港）有限公司
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请求人委托代理师：
周心志
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专利权人委托代理机构：
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专利权人委托代理师：
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