|
通过化学汽相沉积在晶片上生长外延层的无基座式反应器
|
|
决定号：
34493
|
决定日：
2018年01月03日
|
|
申请号：
01822507.1
展开
申请日： 2001年08月21日
申请人：威科仪器有限公司
国际分类号：C30B25/02；C30B25/08；C30B25/12；C30B25/14
|
|
请求人：
中微半导体设备（上海）有限公司
|
|
决定结论：
全部无效
|
法律依据：
专利法第22条第2款；专利法第22条第3款
|
|
请求人委托代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司
|
请求人委托代理师：
张秋林
|
|
专利权人委托代理机构：
珠海智专专利商标代理有限公司
|
专利权人委托代理师：
张中；刘曾剑
|
|
|
欢迎使用全国专利代理公共服务平台
