|
接触形成方法、半导体装置的制造方法和半导体装置
|
|
决定号：
88023
|
决定日：
2015年04月21日
|
|
申请号：
200980142901.1
展开
申请日： 2009年10月23日
申请人：国立大学法人东北大学；财团法人国际科学振兴财团
国际分类号：H01L21/28；H01L21/336；H01L21/8238；H01L27/092；H01L29/78；H01L29/786
|
|
请求人：
国立大学法人东北大学；财团法人国际科学振兴财团
|
|
决定结论：
撤销原决定
|
法律依据：
专利法第22条第3款
|
|
请求人委托代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司
|
请求人委托代理师：
张远
|
|
专利权人委托代理机构：
|
专利权人委托代理师：
|
|
|
欢迎使用全国专利代理公共服务平台
