案件类型：
专利类型：
技术领域：
合议组成员：
    组长：      主审员：
请求人委托：
    代理机构：      代理师：

基于降维和增量式极限学习机的光刻线宽智能预测方法

决定号： 88576

决定日： 2015年05月06日

申请号： 201210543771.6     展开

请求人： 清华大学

决定结论： 撤销原决定

法律依据： 专利法第22条第3款

请求人委托代理机构： 北京思海天达知识产权代理有限公司

请求人委托代理师： 楼艮基

专利权人委托代理机构：

专利权人委托代理师：