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用于光致抗蚀剂的涂料组合物
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决定号：
51681
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决定日：
2013年03月22日
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申请号：
200710003725.6
展开
申请日： 2007年01月08日
申请人：罗门哈斯电子材料有限公司
国际分类号：G03F7/004；G03F7/027；C09D133/08；C09D7/12
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请求人：
罗门哈斯电子材料有限公司
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决定结论：
维持原决定
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法律依据：
专利法第22条第2款；专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构：
上海专利商标事务所有限公司
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请求人委托代理师：
沙永生
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专利权人委托代理机构：
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专利权人委托代理师：
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