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微结构、半导体器件、以及微结构的制造方法
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决定号：
44640
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决定日：
2012年07月27日
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申请号：
200710086232.3
展开
申请日： 2007年03月09日
申请人：株式会社半导体能源研究所
国际分类号：H01L27/00；H01L29/94；H01L49/00；H01L21/02；B81C1/00；B81B5/00
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请求人：
株式会社半导体能源研究所
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决定结论：
撤销原决定
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法律依据：
专利法第22条第2款；专利法第22条第3款
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请求人委托代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
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请求人委托代理师：
王平
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专利权人委托代理机构：
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专利权人委托代理师：
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