案件类型:
合议组成员:
    组长:      主审员:
请求人委托:
    代理机构:      代理师:

一种带冷却系统的气体注入装置

决定号: 84621

决定日: 2015年03月16日

申请号: 201110355292.7     展开

请求人: 中微半导体设备(上海)有限公司

决定结论: 维持原决定

法律依据: 专利法第22条第3款

请求人委托代理机构: 上海智信专利代理有限公司

请求人委托代理师: 王洁

专利权人委托代理机构:

专利权人委托代理师:


射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室

决定号: 82798

决定日: 2015年02月04日

申请号: 201010230012.5     展开

请求人: 中微半导体设备(上海)有限公司

决定结论: 维持原决定

法律依据: 专利法第22条第3款

请求人委托代理机构: 上海智信专利代理有限公司

请求人委托代理师: 王洁

专利权人委托代理机构:

专利权人委托代理师: