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决定日
申请日
一种带冷却系统的气体注入装置
决定号: 84621
决定日: 2015年03月16日
申请号: 201110355292.7 展开
请求人: 中微半导体设备(上海)有限公司
决定结论: 维持原决定
法律依据: 专利法第22条第3款
请求人委托代理机构: 上海智信专利代理有限公司
请求人委托代理师: 王洁
专利权人委托代理机构:
专利权人委托代理师:
射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室
决定号: 82798
决定日: 2015年02月04日
申请号: 201010230012.5 展开
请求人: 中微半导体设备(上海)有限公司
主办单位:中华全国专利代理师协会 | 技术支持:中国专利信息中心
ICP备案编号:京ICP备12047258号-7 | 京公网安备:11010802036321