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决定日
申请日
控制SiC基体刻蚀的台阶形貌的方法
决定号: 53907
决定日: 2013年06月06日
申请号: 200910074413.3 展开
请求人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
决定结论: 撤销原决定
法律依据: 专利法第22条第3款
请求人委托代理机构: 石家庄国为知识产权事务所
请求人委托代理师: 米文智
专利权人委托代理机构:
专利权人委托代理师:
主办单位:中华全国专利代理师协会 | 技术支持:中国专利信息中心
ICP备案编号:京ICP备12047258号-7 | 京公网安备:11010802036321