案件类型:
合议组成员:
    组长:      主审员:
请求人委托:
    代理机构:      代理师:

控制SiC基体刻蚀的台阶形貌的方法

决定号: 53907

决定日: 2013年06月06日

申请号: 200910074413.3     展开

请求人: 中国电子科技集团公司第十三研究所

决定结论: 撤销原决定

法律依据: 专利法第22条第3款

请求人委托代理机构: 石家庄国为知识产权事务所

请求人委托代理师: 米文智

专利权人委托代理机构:

专利权人委托代理师: